0.1兆歐·厘米至1.0兆歐·厘米之間的水（使用III型RO過濾器實現的純度）將適合jue大多數研究實驗室的滅菌器負荷，例如對生物有害的廢物，衣服，籠子，玻璃器皿，介質或一般實驗室設備。另一方面，對礦物污染非常敏感的物品，例如組織樣本或cGMP過程中使用的物品，僅應使用大于 1兆歐·厘米的水產生的蒸汽進行滅菌。這種純度的水通常只能通過DI和蒸餾提純獲得。
請記住，當使用高純水（大于1兆歐·厘米）作為蒸汽產生源時，高壓滅菌器必須由不銹鋼制成，特別是箱體，夾套和蒸汽發生器和工藝管道。高純水缺少離子或礦物質，會嘗試從其接觸的所有物質中濾出雜質，包括玻璃，鋼和銅。這可能會導致連續腐蝕以及非不銹鋼部件的過早失效。